真空ポンプ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤本昇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-276055
公開番号（公開出願番号）：特開平10-122179
出願日： 1996年10月18日
公開日（公表日）： 1998年05月12日
要約：

【要約】【課題】真空ポンプにおける放熱効率の向上を図ったり、ポンプを構成する部材間に閉じ込められたエアを迅速に排気できるようにして到達圧力の低下を防止し、所定の高真空排気を達成することができるようにする。【解決手段】吸気口2及び排気口3とを有するケーシング1内に、多段状の複数の動翼11を有するロータ9が駆動装置12のシャフト12aに回転自在に支持され、該動翼11と、動翼11間に嵌入される静翼13とからターボ分子ポンプ段6が構成され、しかも、前記ロータ9の動翼11よりも排気口3側には筒状ロータ部15が形成され、該筒状ロータ部15と筒状ロータ部15に対面するように設けられたステータ24との少なくとも一方の周面にはねじ溝23が形成され、筒状ロータ部15とステータ24とからねじ溝ポンプ段7が構成されている真空ポンプにおいて、前記動翼11及び静翼13における排気口3側の一部の対向面と、前記筒状ロータ部15及びステータ24の対向面と、前記シャフト12aの表面には、熱放射率の高い物質からなる被膜30,34がそれぞれ設けられていることことにある。

請求項（抜粋）：

吸気口(2)及び排気口(3)とを有するケーシング(1)内に、多段状の複数の動翼(11)を有するロータ(9)が駆動装置(12)のシャフト(12a)に回転自在に支持され、該動翼(11)と、動翼(11)間に嵌入される静翼(13)とからターボ分子ポンプ段(6)が構成され、しかも、前記ロータ(9)の動翼(11)よりも排気口(3)側には筒状ロータ部(15)が形成され、該筒状ロータ部(15)と筒状ロータ部(15)に対面するように設けられたステータ(24)との少なくとも一方の周面にはねじ溝(23)が形成され、筒状ロータ部(15)とステータ(24)とからねじ溝ポンプ段(7)が構成されている真空ポンプにおいて、前記動翼(11)及び静翼(13)における排気口(3)側の一部の対向面と、前記筒状ロータ部(15)及びステータ(24)の対向面と、前記シャフト(12a)の表面には、熱放射率の高い物質からなる被膜(30),(34)がそれぞれ設けられていることを特徴とする真空ポンプ。

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開平4-353295
ターボ分子ポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-171768 出願人：財団法人真空科学研究所
複合分子ポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-171026 出願人：株式会社大阪真空機器製作所, 日本複合材料株式会社

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審査官引用 (7件)

特開平4-353295
特開昭63-230989
ターボ分子ポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-171768 出願人：財団法人真空科学研究所

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