特許

J-GLOBAL ID：200903095114075481

信号波形測定装置及び信号波形測定方法

発明者： 若菜 伸一 ,  尾崎 一幸 ,  後藤 善朗 ,  梅原 康敏
出願人/特許権者： 富士通株式会社 ,  株式会社アドバンテスト
代理人 (1件)： 岡本 啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-157285
公開番号（公開出願番号）：特開平8-023014
出願日： 1994年07月08日
公開日（公表日）： 1996年01月23日
要約：

【要約】【目的】 信号波形測定装置に関し、光導電素子を有する微細探針を用い、試料と探針間に流れる被測定電流量を参照電圧のフィードバック操作により制御し、当該試料の高速な信号波形を測定する。【構成】 試料16と探針11Aとの間隔を調整するピエゾ駆動手段11と、試料16と探針11Aとの間に流れる被測定電流Iを短波長の光Lに基づいてチョッピングする光導電素子12と、被測定電流Iを入力して試料16の測定電圧の演算基礎となる参照電圧VOUT をサンプリングする信号処理手段13とを備える。信号処理手段13は、参照電圧VOUT を基準にして電圧に変換された被測定電流Iをサンプリングし、かつ、被測定データDOUT を出力するデータ出力手段13Aと、被測定データDOUT と電流設定データDRとを比較して比較結果データDCを出力するデータ比較手段13Bと、比較結果データDCに基づいて参照電圧VOUTを出力する制御手段13Cとを有する。

請求項（抜粋）：

試料(16)と探針(11A)との間隔を調整するピエゾ駆動手段(11)と、前記試料(16)と探針(11A)との間に流れる被測定電流(I)を短波長の光(L)に基づいてチョッピングする光導電素子(12)と、前記試料(16)の測定電圧の演算基礎となる参照電圧(VOUT )に基づいて被測定電流(I)をサンプリングする信号処理手段(13)とを備えることを特徴とする信号波形測定装置。

IPC (2件)：

H01L 21/66 ,  G01R 31/302

引用特許：

審査官引用 (2件)

• プローブ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-250261   出願人：富士通株式会社
• 電圧測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-232124   出願人：富士通株式会社