特許
J-GLOBAL ID：200903095142671510

ウェーハの諸部分を電気的に分離するためのシステム

発明者：
ピーター・ジョージ・ハートウェル

ピーター・ジョージ・ハートウェル について


出願人/特許権者：
ヒューレット・パッカード・カンパニー

ヒューレット・パッカード・カンパニー について


代理人 (1件)： 岡田 次生 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-298439
公開番号（公開出願番号）：特開2003-151978
出願日： 2002年10月11日
公開日（公表日）： 2003年05月23日
要約：
【要約】【課題】ウェーハの諸部分を電気的に分離するためのシステムを提供する。【解決手段】典型的な実施形態には、第1のウェーハ、及び、第1のウェーハを少なくとも部分的に貫通して形成された第1の導体(202)が含まれている。第1の導体絶縁層(204)が、第1のウェーハを少なくとも部分的に貫通して形成されている。第1の導体絶縁層は、第1の導体と係合し、第1の導体と第1のウェーハ材料(206)との間に配置されている。第1のウェーハを少なくとも部分的に貫通して形成された、第1の外部絶縁層(210)も設けられている。第1の外部絶縁層は、第1の導体絶縁層から間隔をあけて配置されている。第1の導体絶縁層と第1の外部絶縁層は、誘電体材料から形成されている。
請求項（抜粋）：
ウェーハの一部を電気的に分離するためのシステムであって、第1のウェーハと、前記第1のウェーハを少なくとも部分的に貫通して形成された第1の導体と、前記第1のウェーハを少なくとも部分的に貫通して形成されて、前記第1の導体と係合し、前記第1の導体と前記第1のウェーハ材料の間に配置された、誘電体材料から形成されている、第1の導体絶縁層と、前記第1のウェーハを少なくとも部分的に貫通して形成されて、前記第1の絶縁層から間隔をあけて配置された、誘電体材料から形成されている、第1の外部絶縁層とを含むシステム。
Fターム (6件)：
5F033MM30 ,  5F033NN40 ,  5F033RR01 ,  5F033RR04 ,  5F033RR06 ,  5F033TT07
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM