特許
J-GLOBAL ID：200903095191598683
精密可変型長尺ビーム光学系
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 義雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-248481
公開番号（公開出願番号）：特開2001-075043
出願日： 1999年09月02日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：
【要約】【課題】 像面湾曲が少なく、全長尺範囲で均一なビームを形成することができる小型のビーム整形光学系を提供すること。【解決手段】 ここで、短軸イメージングレンズ50はシリンドリカルレンズであり、このシリンドリカルレンズを通過する光ビームの長軸断面はテレセントリックとなっている。よって、イメージングレンズ50を通過する主光線を光軸OAに平行にすることができ、長軸方向に沿った短軸断面の結像について像面湾曲は発生しない。また、デフォーカスが生じてもビーム長は変化しない。
請求項（抜粋）：
線条ビームを形成するビーム整形光学系であって、短軸方向に関して、ビームを分割する短軸側シリンダアレイと、分割することによって得た2次光源を重ね合わせる短軸側コンデンサレンズと、前記2次光源を重ね合わせた位置である物面を所定の加工面である像面に縮小投影するイメージングレンズとを備え、長軸方向に関して、ビームを分割する長軸側シリンダアレイと、分割することによって得た2次光源を前記所定の加工面上で重ね合わせる長軸側コンデンサレンズとを備えるとともに、前記加工面側でテレセントリックとなっていることを特徴とするビーム整形光学系。
引用特許：
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