特許

J-GLOBAL ID：200903095232768076

カセットの回転位置調整機構およびこれを備えた基板移載装置

発明者： 前川 直嗣
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 小谷 悦司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-150218
公開番号（公開出願番号）：特開平11-345864
出願日： 1998年05月29日
公開日（公表日）： 1999年12月14日
要約：

【要約】【課題】 カセット内に収納された基板の表面が相互に反対の方向を向くように、カセットの回転位置を調整することができるカセット回転位置調整機構およびこれを備えた基板移載装置を低コストで提供する。【解決手段】 回転テーブル62では、回転駆動用のエアーシリンダ75によって90 ゚の角度範囲で往復回動自在となっているが、エアーシリンダ75のロッド753を伸長させた状態でも、ロッド753を収縮させた状態でもカセットCの受渡しが可能な状態となっている。そして、エアーシリンダ75の動作制御によってface to face配列およびface to back配列に適したカセットの回転位置に調整される。

請求項（抜粋）：

第1位置と、当該第1位置に対して90 ゚回転した第2位置との間で往復回転自在で、しかも前記第1および第2位置のいずれに位置決めされても、基板表面が所定方向を向いた状態で複数の基板が当該所定方向に配列して収納されたカセットを載置可能に構成された第1回転テーブルと、前記第1回転テーブルを前記第1および第2位置の間で回転駆動する駆動手段とを備え、前記駆動手段を制御して2つの位置決め状態(a),(b)のうちの一方となるように選択的にカセットの回転位置を調整することを特徴とするカセットの回転位置調整機構。(a)予め第1回転テーブルを第1位置に位置決めしておき、カセットが載置されると、当該第1回転テーブルを第2位置に回転させて当該カセット内の基板の表面が前記所定方向から正方向に90 ゚回転した方向を向いた状態。(b)予め第1回転テーブルを第2位置に位置決めしておき、カセットが載置されると、当該第1回転テーブルを第1位置に回転させて当該カセット内の基板の表面が前記所定方向から逆方向に90 ゚回転した方向を向いた状態。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B65G 1/00 535 ,  B65G 49/07

FI (3件)：

H01L 21/68 D ,  B65G 1/00 535 ,  B65G 49/07 L

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 基板処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-267966   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• 基板処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-189157   出願人：大日本スクリーン製造株式会社