オゾン発生装置用放電セル

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：生形元重 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-100264
公開番号（公開出願番号）：特開平11-278809
出願日： 1998年03月27日
公開日（公表日）： 1999年10月12日
要約：

【要約】【課題】酸素からなる原料ガスに窒素ガス等の触媒ガスを添加せずに、オゾン濃度の経時的な低下を防止する。【解決手段】オゾン発生装置用放電セルにおいて、電極1の表面上に配置された誘電体2の表面上に、アナターゼ型の酸化チタンからなる薄膜4を形成する。アナターゼ型の酸化チタンによる光触媒作用により、オゾン濃度の経時的な低下が防止される。

請求項（抜粋）：

一対の電極が隙間をあけて配置され、この電極間に放電空間を形成するべく一対の電極のうちの少なくとも一方の電極表面上に誘電体が配置されたオゾン発生装置用放電セルにおいて、少なくとも一方の誘電体の表面上に、アナターゼ型の酸化チタンからなる薄膜が形成されていることを特徴とするオゾン発生装置用放電セル。

引用特許：

審査官引用 (9件)

プラズマ化学反応装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-122672 出願人：株式会社東芝
オゾンガス配管における金属不純物低減方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-331654 出願人：住友精密工業株式会社
オゾン発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-162629 出願人：株式会社荏原製作所

全件表示

前のページに戻る