流量測定装置及びこれを用いた薬液供給装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-371195
公開番号（公開出願番号）：特開2001-183193
出願日： 1999年12月27日
公開日（公表日）： 2001年07月06日
要約：

【要約】【課題】センサ部として比較的簡易な構造を有するとともに検出信号の処理回路が簡単に構成可能なために小型化が容易であって、しかも、応答性が良好で安定且つ確実に流量を検出することができる流量測定装置、特に、微量の薬液を注入するための薬液供給装置に用いる場合に充分な検出感度及び検出精度を備えた流量測定装置を提供する。【解決手段】流体が上流側開口部材112、受圧部材113及び下流側開口部材114を通過するとき、受圧部材113の可動電極113cは、上流側開口部材112の開口部112aから噴出す噴流から圧力を受け、接続部113bを撓ませて下流側に移動する。この可動電極113cの変位量を流量測定回路により検出された電極間の電気抵抗値によって求める。

請求項（抜粋）：

流体経路中に配置され、該流体経路の流通断面を制限するように構成された、上流側開口を備えた上流側構造部と、該上流側構造部の下流側の、前記上流側開口に対応した位置に配置され、前記上流側開口により生ずる噴流の圧力に応じて下流側へ変位するように構成された可動部及び該可動部の周囲に下流側へ流体が通過可能な流通領域を備えた受圧構造部と、前記可動部の下流側への変位量を検出する変位検出手段とを有し、検出された前記可動部の変位量に基づいて流体の流量を求めるように構成されていることを特徴とする流量測定装置。

IPC (4件)：

G01F 1/28 , A61M 5/00 323 , G01F 1/00 , G01F 1/56

FI (6件)：

G01F 1/28 B , A61M 5/00 323 , G01F 1/00 Q , G01F 1/00 J , G01F 1/00 R , G01F 1/56

Fターム (23件)：

2F030CA05 , 2F030CA10 , 2F030CC01 , 2F030CE02 , 2F030CE04 , 2F030CE22 , 2F030CE25 , 2F030CF07 , 2F035AA06 , 2F035AB05 , 2F035AB08 , 4C066AA07 , 4C066AA09 , 4C066BB01 , 4C066CC01 , 4C066DD11 , 4C066FF01 , 4C066HH01 , 4C066QQ32 , 4C066QQ44 , 4C066QQ53 , 4C066QQ72 , 4C066QQ82

引用特許：

審査官引用 (4件)

流体流量計
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-230986 出願人：松下電器産業株式会社
静電容量式液面レベル測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-187891 出願人：丹治與宗治
特開平4-110618

全件表示

前のページに戻る