特許
J-GLOBAL ID：200903095322568157

赤外線検知素子

発明者：
樋熊 弘子

樋熊 弘子 について

, 
宮下 章志

宮下 章志 について

, 
内海 良和

内海 良和 について

, 
秦 久敏

秦 久敏 について


出願人/特許権者：
三菱電機株式会社

三菱電機株式会社 について


代理人 (1件)： 宮田 金雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-064535
公開番号（公開出願番号）：特開2001-257384
出願日： 2000年03月09日
公開日（公表日）： 2001年09月21日
要約：
【要約】【課題】 従来よりも抵抗温度係数が高いペロブスカイト型Mn酸化物薄膜を用い、簡便な製造工程によって高感度の赤外線検知素子を提供する。【解決手段】 Si基板上に空隙部を介して積層されているSiO2層上の一部分に積層されている配線層、配線層の一部分およびSiO2層の一部分にまたがって積層されている少なくともイリジウム層を有する複数層よりなる電極層、および電極層の一部分およびSiO2層の一部分にまたがって積層されているペロブスカイト型マンガン酸化物を主成分とするボロメーター用薄膜を備える。
請求項（抜粋）：
赤外線の吸収による温度変化を抵抗値で検知するボロメーター方式の赤外線検知素子において、Si基板上に空隙部を介して積層されているSiO2層、該SiO2層上の一部分に積層されている配線層、該配線層の一部分および前記SiO2層の一部分にまたがって積層されている少なくともイリジウム層を有する複数層よりなる電極部、および該電極部の一部分および前記SiO2層の一部分にまたがって積層されているペロブスカイト型マンガン酸化物を主成分とするボロメーター用薄膜を備え、該ボロメーター用薄膜に前記電極部からバイアス電流を流して信号を読み出すことを特徴とする赤外線検知素子。
IPC (3件)：
H01L 35/22 ,  G01J 1/02 ,  G01J 5/02
FI (3件)：
H01L 35/22 ,  G01J 1/02 C ,  G01J 5/02 C
Fターム (8件)：
2G065AA11 ,  2G065AB02 ,  2G065BA12 ,  2G065BA14 ,  2G065BA34 ,  2G065DA20 ,  2G066BA09 ,  2G066BA60
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM