熱型赤外線検出素子

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-080008
公開番号（公開出願番号）：特開平10-274561
出願日： 1997年03月31日
公開日（公表日）： 1998年10月13日
要約：

【要約】【課題】製造時の歩留まりが大きく生産性が高く、熱時定数が小さく残像が低減された熱型赤外線検出素子を提供する。【解決手段】読出回路を有する下層部と絶縁保護膜に覆われた熱-抵抗値変換を行うボロメータ薄膜を有する上層部からなり、この上層部と下層部とは真空又は封入ガスにより空間的に隔てられた熱分離構造を形成し、かつこの絶縁保護膜上または絶縁保護膜中の電極膜により電気的に接続され、またボロメータ薄膜が赤外線吸収膜も兼ねる構成とする。

請求項（抜粋）：

読出回路を有する下層部と絶縁保護膜に覆われた熱-抵抗値変換を行うボロメータ薄膜を有する上層部からなり、該上層部と該下層部とは真空又は封入ガスにより空間的に隔てられた熱分離構造を形成しており、かつ該絶縁保護膜上または絶縁保護膜中の電極膜により電気的に接続されていること、及び該ボロメータ薄膜が赤外線吸収膜も兼ねることを特徴とする熱型赤外線検出素子。

IPC (4件)：

G01J 1/02 , C01G 45/00 , C09K 3/00 105 , G01J 5/02

FI (5件)：

G01J 1/02 R , G01J 1/02 C , C01G 45/00 , C09K 3/00 105 , G01J 5/02 B

引用特許：

審査官引用 (7件)

赤外線センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-265703 出願人：日本電気株式会社
赤外線検出素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-286385 出願人：松下電工株式会社
熱依存性検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-258591 出願人：リコー精器株式会社

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