力検出装置

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：志村浩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-147853
公開番号（公開出願番号）：特開2001-330527
出願日： 2000年05月19日
公開日（公表日）： 2001年11月30日
要約：

【要約】【課題】小型で安価で、測定精度の高い静電容量式の力検出装置を提供する。【解決手段】セラミック基板110上に、シリコンゴムからなる変位生成体120が配置される。変位生成体120は、作用部121と、肉薄円環状の可撓部122と、その周囲の固定部123によって構成され、固定部材140によって基板110上に固定される。基板110上には、電極E1〜E5と、その上を覆う絶縁層I1〜I5が形成され、作用部121の下面には、導電性ゴムからなる弾性導電層130が形成される。弾性導電層130の下面には多数の凹凸構造が形成され、作用部121に加えられた力に応じて凹凸構造が潰れ、絶縁層I1〜I5に対する接触状態が変化する。各電極E1〜E5と弾性導電層130との間の静電容量値の変化に基づいて、作用した力の方向と大きさを検出する。

請求項（抜粋）：

平板状の電極と、この電極の上面を覆う絶縁層と、を有する固定部材と、少なくとも底部が弾性変形を生じる導電性材料からなり、この底部の下面に凹凸構造からなる粗面もしくは凹凸面が形成された変位部材と、を備え、前記固定部材の上方に前記変位部材が上下方向に変位可能となるように配置され、前記絶縁層を挟んで前記電極の上面と前記粗面もしくは凹凸面とにより容量素子が形成されるようにし、この容量素子の静電容量値に基づいて前記変位部材に作用した力を検出できるようにしたことを特徴とする力検出装置。

Fターム (6件)：

2F051AA21 , 2F051AB06 , 2F051BA07 , 2F051DA01 , 2F051DA02 , 2F051DA03

引用特許：

出願人引用 (7件)

特開平1-092632
三軸力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-059981 出願人：矢崎総業株式会社
押しボタンスイッチ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-059750 出願人：住友電装株式会社

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審査官引用 (5件)

特開平1-092632
三軸力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-059981 出願人：矢崎総業株式会社
押しボタンスイッチ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-059750 出願人：住友電装株式会社

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