特許

J-GLOBAL ID：200903095523593389

軟質磁性薄膜及びその製造方法

発明者： 逢坂 哲彌
出願人/特許権者： 学校法人早稲田大学 ,  日本学術振興会
代理人 (1件)： 小島 隆司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-204023
公開番号（公開出願番号）：特開2000-277332
出願日： 1999年07月19日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：

【要約】【解決手段】 炭素含有量が0.02〜0.1重量%であり、コバルト含有量が40〜70重量%、鉄含有量が20〜40重量%、及びニッケル含有量が5〜20重量%であるコバルト・鉄・ニッケル・炭素薄膜からなる軟質磁性薄膜。【効果】 本発明の軟質磁性薄膜は、高い飽和磁束密度と優れた軟質磁気特性と高い電気抵抗率とを兼ね備えたものである。

請求項（抜粋）：

炭素含有量が0.02〜0.1重量%であり、コバルト含有量が40〜70重量%、鉄含有量が20〜40重量%、及びニッケル含有量が5〜20重量%であるコバルト・鉄・ニッケル・炭素薄膜からなる軟質磁性薄膜。

IPC (5件)：

H01F 10/16 ,  G11B 5/127 ,  G11B 5/31 ,  H01F 10/14 ,  H01F 41/24

FI (5件)：

H01F 10/16 ,  G11B 5/127 F ,  G11B 5/31 C ,  H01F 10/14 ,  H01F 41/24

Fターム (13件)：

5D033BA03 ,  5D033DA04 ,  5D093AA05 ,  5D093AD12 ,  5D093BD01 ,  5D093BD08 ,  5D093JA01 ,  5E049AA04 ,  5E049AA09 ,  5E049BA12 ,  5E049EB06 ,  5E049LC02 ,  5E049LC06

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 軟磁性薄膜
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-235537   出願人：ティーディーケイ株式会社
• 軟磁性合金、軟磁性薄膜および多層膜
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-166406   出願人：ティーディーケイ株式会社, 宮崎照宣