特許
J-GLOBAL ID：200903095528413028

光導波路素子及び光導波路素子の製造方法

発明者：
向山 尚孝

向山 尚孝 について

, 
長ケ部 英資

長ケ部 英資 について


出願人/特許権者：
富士ゼロックス株式会社

富士ゼロックス株式会社 について


代理人 (1件)： 中島 淳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-331582
公開番号（公開出願番号）：特開2001-147337
出願日： 1999年11月22日
公開日（公表日）： 2001年05月29日
要約：
【要約】【課題】 高い電気光学係数を有するPb<SB>1-x</SB>La<SB>x</SB>(Zr<SB>y</SB>Ti<SB>1-y</SB>)<SB>1-x/4</SB>O<SB>3</SB>からなる光導波路層を有する光導波路素子に、研磨により、チッピング、エッジだれが無い良好な光入出射端面を形成する。【解決手段】 Pb<SB>1-x</SB>La<SB>x</SB>(Zr<SB>y</SB>Ti<SB>1-y</SB>)<SB>1-x/4</SB>O<SB>3</SB>(0<x<0.3,0<y<1.0)からなる光導波路層を含む積層物と保護基板とを接着剤により固定した状態で、100kPa以上350kPa以下の研磨圧力で一体に研磨することにより、光入出射端面を形成する。
請求項（抜粋）：
Pb<SB>1-x</SB>La<SB>x</SB>(Zr<SB>y</SB>Ti<SB>1-y</SB>)<SB>1-x/4</SB>O<SB>3</SB>(0<x<0.3,0<y<1.0)からなる光導波路層を含む積層物と保護基板とを、接着剤により固定した状態で、100kPa以上350kPa以下の研磨圧力で、前記積層物と前記保護基板とを一体に研磨することにより光入出射端面を形成する光導波路素子の製造方法。
IPC (4件)：
G02B 6/13 ,  G02B 6/12 ,  G02F 1/035 ,  G02F 1/055 505
FI (5件)：
G02F 1/035 ,  G02F 1/055 505 ,  G02B 6/12 M ,  G02B 6/12 N ,  G02B 6/12 J
Fターム (15件)：
2H047KA02 ,  2H047MA05 ,  2H047PA02 ,  2H047PA06 ,  2H047PA24 ,  2H047QA01 ,  2H047TA32 ,  2H079AA02 ,  2H079AA12 ,  2H079DA03 ,  2H079EA02 ,  2H079EA21 ,  2H079HA11 ,  2H079JA06 ,  2H079JA08
引用特許：
審査官引用 (3件)

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