特許

J-GLOBAL ID：200903095554113520

アルカリ土類金属不純物の少ない蛍石及びその製造方法

発明者： 佐久間 繁 ,  水垣 勉 ,  塩澤 正樹 ,  高野 修一 ,  西川 秀美
出願人/特許権者： 株式会社ニコン ,  応用光研工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-010551
公開番号（公開出願番号）：特開平10-203899
出願日： 1997年01月23日
公開日（公表日）： 1998年08月04日
要約：

【要約】【課題】 蛍石にArFエキシマレーザー光、γ線などの高エネルギーの光子、粒子が照射されるとカラーセンターが生じて透過率が低下してしまう。【解決手段】 アルカリ土類金属不純物の濃度の合計が1E18 atom/cm3 以下、より好ましくはアルカリ土類金属不純物のうち、ストロンチウムの濃度が1E18 atom/cm3 以下である蛍石を提供する。

請求項（抜粋）：

アルカリ土類金属不純物の濃度の合計が1E18 atom/cm3 以下である蛍石。

IPC (3件)：

C30B 29/12 ,  C30B 11/00 ,  G02B 1/02

FI (3件)：

C30B 29/12 ,  C30B 11/00 Z ,  G02B 1/02

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 蛍石とそれを用いた光学系及び露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-066864   出願人：キヤノン株式会社
• 蛍石とそれを用いた光学物品及びフォトリソグラフィー用の露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-068016   出願人：キヤノン株式会社