特許
J-GLOBAL ID：200903095613562032
基板の整列装置および方法
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
亀谷 美明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-113620
公開番号（公開出願番号）：特開平8-288368
出願日： 1995年04月14日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：
【要約】【目的】 基板カセット内で基板を一括して正確かつ容易に整列する。【構成】 本発明によれば、基板昇降手段200の第2の基板支持部材204により、基板収納容器120内において第1の基板支持部材128により支持された複数枚の基板10を一括して持ち上げた後に、整列手段306により基板10を整列する。そのため、基板収納容器120の第1の支持部材128の摩擦係数が大きい場合であっても、第2の基板支持部材204が基板10と接触する部分に摩擦係数の小さい材料を使用すれば、基板10を円滑に滑らすことが可能となり、容易に基板の整列を行うことができる。
請求項（抜粋）：
複数枚の板状基板を第1の基板支持部材により支持して略垂直方向に所定間隔を空けて積層配列する基板収納容器と、前記基板の外周部に当接して前記基板収納容器内の基板を整列する整列手段とを備えた基板の整列装置において、前記基板収納容器内の基板を第2の基板支持部材により一括して支持して前記第1の基板支持部材から離す基板昇降手段を設けたことを特徴とする、基板の整列装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B23P 19/00 302
, B65D 85/86
H01L 21/68 G
, H01L 21/68 V
, B23P 19/00 302 R
, B65D 85/38 R
