特許
J-GLOBAL ID：200903095704765572
加速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-316237
公開番号（公開出願番号）：特開平9-159690
出願日： 1995年12月05日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：
【要約】【課題】 熱的環境変化に対し、感度低下の少ない加速度センサを提供することを目的とする。【解決手段】 表、裏電極2,3を形成し、2層の内部電極4,5で分割された3層構造で、表電極2と内部電極5、裏電極3と内部電極4とを電気的に接続し、表電極2と内部電極4間の圧電体8と、裏電極3と内部電極5間の圧電体9は互いに対向するように分極した短冊状圧電振動子を上、下より支持した構成にする。
請求項（抜粋）：
複数の圧電体と複数の内部電極とを交互に積層した積層体と、この積層体の表、裏面に設けた電極とを備え、前記内部電極は交互に前記表、裏面に設けた電極に電気的に接続され、前記内部電極に挟まれた少なくとも2層の圧電体は互いに対向するように分極された加速度センサ。
IPC (5件)：
G01P 15/09
, G01L 1/16
, H01L 41/08
, H03H 9/17
, H03H 9/25
G01P 15/09
, G01L 1/16
, H03H 9/17 A
, H03H 9/25 C
, H01L 41/08 Z
