特許
J-GLOBAL ID：200903095818617247

ドレッシング工具およびその製造方法

発明者：
藤井 剛志

藤井 剛志 について

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渡邊 公寿

渡邊 公寿 について

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石崎 順二

石崎 順二 について


出願人/特許権者：
株式会社ノリタケカンパニーリミテド

株式会社ノリタケカンパニーリミテド について


代理人 (1件)： 池田 治幸 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-053453
公開番号（公開出願番号）：特開2001-239461
出願日： 2000年02月29日
公開日（公表日）： 2001年09月04日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 金属の溶出による汚染がなく、高い砥粒の保持力がえられ、しかも砥粒間の無機結合剤層が研磨パッドに接触することにより無機結合剤の破片が発生することのないドレッシング工具を提供する。【解決手段】 ドレッシング工具24において、無機材料製の工具本体28のドレッシング面30において、相互に離間した単粒状態の第1砥粒36を無機結合剤40により固着するとともに、その第1砥粒36の間にその第1砥粒36から離間して位置する状態でその第1砥粒36よりも平均粒径が小さな第2砥粒38を相互に混在するように無機結合剤40により固着する。
請求項（抜粋）：
研磨パッド表面の目詰まりを除去するために該研磨パッドの表面に摺接させられるドレッシング工具であって、前記研磨パッドの表面に押し付けられるドレッシング面を有し、少なくとも該ドレッシング面側の表層が無機材料製の工具本体と、相互に離間した単粒状態で該工具本体のドレッシング面に無機結合剤層により固着された第1砥粒と、該工具本体のドレッシング面において該第1砥粒の間に該第1砥粒から離間して位置する状態で相互に混在するように無機結合剤により固着された、該第1砥粒よりも平均粒径が小さな複数の第2砥粒とを、含むことを特徴とするドレッシング工具。
IPC (4件)：
B24B 53/12 ,  B24D 3/00 330 ,  B24D 3/00 340 ,  B24D 3/14
FI (4件)：
B24B 53/12 Z ,  B24D 3/00 330 G ,  B24D 3/00 340 ,  B24D 3/14
Fターム (11件)：
3C047AA34 ,  3C047EE18 ,  3C047EE19 ,  3C063AA10 ,  3C063AB05 ,  3C063BB02 ,  3C063BB03 ,  3C063BB20 ,  3C063BC05 ,  3C063EE26 ,  3C063FF23
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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