特許

J-GLOBAL ID：200903095821277619

高結晶性窒化アルミニウム積層基板およびその製造方法

発明者： 福山 博之 ,  中尾 航 ,  楠 信哉 ,  高田 和哉 ,  箱守 明
出願人/特許権者： 財団法人理工学振興会
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-262268
公開番号（公開出願番号）：特開2005-104829
出願日： 2004年09月09日
公開日（公表日）： 2005年04月21日
要約：

【課題】 高結晶性の窒化アルミニウム(AlN)膜を最外層に有する高結晶性窒化アルミニウム積層基板およびその製造方法を提供する。 【解決手段】 単結晶α-アルミナ基板上に、酸窒化アルミニウム層を介して最外層に高結晶性窒化アルミニウム膜が積層されてなり、酸窒化アルミニウム層の貫通転位密度が6.3×107/cm2以下、且つロッキングカーブの半値幅で表される結晶配向性が4320arcsec以下であることを特徴とする高結晶性窒化アルミニウム積層基板。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

単結晶α-アルミナ基板、酸窒化アルミニウム層および最外層の高結晶性窒化アルミニウム膜がこの順で積層され、そして上記酸窒化アルミニウム層が6.3×107/cm2以下の貫通転位密度および4320arcsec以下のロッキングカーブ半値幅で表される結晶配向性を有することを特徴とする高結晶性窒化アルミニウム積層基板。

IPC (3件)：

C30B29/38 ,  H01L21/205 ,  H01L33/00

FI (3件)：

C30B29/38 C ,  H01L21/205 ,  H01L33/00 C

Fターム (25件)：

4G077AA02 ,  4G077AB01 ,  4G077AB08 ,  4G077BE13 ,  4G077CA01 ,  4G077CA08 ,  4G077ED06 ,  4G077HA02 ,  4G077JA02 ,  4G077JA03 ,  4G077JB02 ,  4G077JB07 ,  4G077JB12 ,  5F041CA40 ,  5F041CA77 ,  5F045AA20 ,  5F045AB09 ,  5F045AC00 ,  5F045AC15 ,  5F045AD18 ,  5F045AF09 ,  5F045BB12 ,  5F045CA10 ,  5F045CA11 ,  5F045CA12

引用特許：

出願人引用 (6件)

• 米国特許第5,741,724号明細書
  
• 特開平2-141495号公報
  
• 特開平2-153897号公報
  
• 特開平2-141495
  
• エピタキシャル下地基板及びエピタキシャル基板
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-387772   出願人：日本碍子株式会社
• 単結晶窒化アルミニウム膜およびその形成方法、III族窒化物膜用下地基板、発光素子、並びに表面弾性波デバイス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-068361   出願人：財団法人理工学振興会

審査官引用 (3件)

• 特開平2-141495
  
• エピタキシャル下地基板及びエピタキシャル基板
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-387772   出願人：日本碍子株式会社
• 単結晶窒化アルミニウム膜およびその形成方法、III族窒化物膜用下地基板、発光素子、並びに表面弾性波デバイス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-068361   出願人：財団法人理工学振興会