特許
J-GLOBAL ID：200903095853511249

アクティブマトリックス基板、表示装置、およびアクティブマトリックス基板の製造方法

発明者：
辻村 隆俊

辻村 隆俊 について

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徳弘 修

徳弘 修 について

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三和 宏一

三和 宏一 について

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師岡 光雄

師岡 光雄 について


出願人/特許権者：
インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション

インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション について


代理人 (1件)： 古部 次郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-208593
公開番号（公開出願番号）：特開2002-043575
出願日： 2000年07月10日
公開日（公表日）： 2002年02月08日
要約：
【要約】【課題】 パターニングプロセスを増やすことなく、配線をゲート絶縁膜やITOによって覆うことで、引出し配線の腐食等を予防でき、更には、アクティブマトリックス基板の製造の際における歩留まりを向上させ、信頼性を高める。【解決手段】 絶縁基板11の上方に所定の間隙を隔てて配設されたソース電極14およびドレイン電極15と、その上に積層されるa-Si膜17と、その上に積層されるゲート絶縁膜18と、その上に積層されるゲート電極19と、ゲート電極19のパターン面と同一のパターン面を含んでゲート電極19に積層される第1の部分と共に、ソース電極14の電極の一部から重なって形成されて画素電極を形成する第2の部分を備えるITO20と、ドレイン電極15に連結されるデータ線16とを備え、このデータ線16の上方はゲート絶縁膜18に覆われているアクティブマトリックス基板。
請求項（抜粋）：
絶縁基板の上方に所定の間隙を隔てて配設されたソース電極およびドレイン電極と、前記ソース電極および前記ドレイン電極に積層される半導体層と、前記半導体層に積層されるゲート絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜に積層されるゲート電極と、前記ゲート電極と略同一形状にて積層される第1の部分と共に、前記ソース電極および前記ドレイン電極の何れか一方の電極の一部分上に積層される部分を含む第2の部分を備える透明導電層とを備えたことを特徴とするアクティブマトリックス基板。
IPC (9件)：
H01L 29/786 ,  H01L 21/336 ,  G02F 1/1333 505 ,  G02F 1/1368 ,  G09F 9/00 342 ,  G09F 9/30 330 ,  G09F 9/30 338 ,  G09F 9/30 339 ,  H01L 21/3213
FI (9件)：
G02F 1/1333 505 ,  G09F 9/00 342 Z ,  G09F 9/30 330 Z ,  G09F 9/30 338 ,  G09F 9/30 339 Z ,  H01L 29/78 627 C ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 21/88 C ,  H01L 29/78 612 D
Fターム (110件)：
2H090HA03 ,  2H090HB04X ,  2H090HC03 ,  2H090HC12 ,  2H090HC17 ,  2H090HD05 ,  2H090LA04 ,  2H092JA25 ,  2H092JA26 ,  2H092JA44 ,  2H092JB33 ,  2H092JB51 ,  2H092JB57 ,  2H092KA04 ,  2H092KA12 ,  2H092KA18 ,  2H092KB24 ,  2H092KB25 ,  2H092MA08 ,  2H092MA14 ,  2H092MA18 ,  2H092MA19 ,  2H092MA20 ,  2H092MA37 ,  2H092MA41 ,  2H092NA16 ,  2H092NA17 ,  2H092NA27 ,  2H092NA29 ,  2H092PA09 ,  5C094AA31 ,  5C094AA42 ,  5C094AA43 ,  5C094BA03 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094DA15 ,  5C094EA04 ,  5C094EA05 ,  5C094EA07 ,  5C094EB02 ,  5C094GB10 ,  5F033GG04 ,  5F033HH08 ,  5F033HH14 ,  5F033HH17 ,  5F033HH18 ,  5F033HH19 ,  5F033HH20 ,  5F033HH22 ,  5F033HH38 ,  5F033MM05 ,  5F033PP15 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ10 ,  5F033QQ11 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ27 ,  5F033QQ73 ,  5F033RR04 ,  5F033RR06 ,  5F033SS08 ,  5F033SS15 ,  5F033VV06 ,  5F033VV15 ,  5F033XX18 ,  5F033XX31 ,  5F033XX33 ,  5F110AA16 ,  5F110AA26 ,  5F110BB01 ,  5F110CC05 ,  5F110CC07 ,  5F110DD02 ,  5F110DD03 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110DD25 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE07 ,  5F110EE14 ,  5F110EE37 ,  5F110EE44 ,  5F110FF03 ,  5F110FF09 ,  5F110FF30 ,  5F110GG02 ,  5F110GG15 ,  5F110GG45 ,  5F110HK02 ,  5F110HK04 ,  5F110HK06 ,  5F110HK07 ,  5F110HK33 ,  5F110NN02 ,  5F110NN24 ,  5F110NN46 ,  5F110NN54 ,  5F110NN72 ,  5F110QQ05 ,  5G435AA14 ,  5G435AA17 ,  5G435BB12 ,  5G435CC09 ,  5G435HH13 ,  5G435KK05 ,  5G435KK09 ,  5G435KK10
引用特許：
審査官引用 (4件)
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