特許
J-GLOBAL ID：200903095927126512
基板収納容器、基板収納容器清浄化装置、基板収納容器清浄化方法および基板処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 秀和 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-074632
公開番号（公開出願番号）：特開平11-274282
出願日： 1998年03月23日
公開日（公表日）： 1999年10月08日
要約：
【要約】【課題】 密閉型基板運搬冶具であるポッドの清浄化を簡便な方法で可能とする。【解決手段】 本発明のポッドは、いずれかの面に基板搬入搬出用の開口部を有する容器本体と、前記開口部に装着される着脱可能な蓋体と、該容器内を密閉化するため、前記容器本体と前記蓋体とを密着固定する手段とを有し、前記蓋体が、気体もしくは液体を該容器内に導入する導入口と、該容器内の気体もしくは液体を該容器外に排出する排出口とを有することを特徴とする。容器本体に蓋体を密着固定した後、該蓋体に備えられた導入口より洗浄液を導入し、排出口より容器内の洗浄液を排出することにより、洗浄槽等を別途必要とせず、ポッド自身を洗浄槽として容器内を洗浄することができる。
請求項（抜粋）：
いずれかの面に基板搬入搬出用の開口部を有する容器本体と、前記開口部に装着される着脱可能な蓋体と、該容器内を密閉化するため、前記容器本体と前記蓋体とを密着固定する手段とを有し、前記蓋体が、気体もしくは液体を該容器内に導入する導入口と、該容器内の気体もしくは液体を該容器外に排出する排出口とを有することを特徴とする基板収納容器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 T
, H01L 21/02 D
