特許
J-GLOBAL ID：200903095978552702
硬質炭素膜被覆部材
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
内田 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-039248
公開番号（公開出願番号）：特開平10-237627
出願日： 1997年02月24日
公開日（公表日）： 1998年09月08日
要約：
【要約】【課題】 基材との密着性、膜同士の密着性、耐摩耗性、耐久性等に優れた硬質炭素膜被覆部材を提供することを目的とする。【解決手段】 硬質炭素膜が被覆された部材において、少なくとも1種類以上の金属元素が添加された硬質炭素膜と、少なくとも1種類以上の金属又は金属炭化物又は金属窒化物又は金属炭窒化物とを繰り返し交互に積層して被覆層が形成され、繰り返しの周期が1nm〜3μmであり、硬質炭素膜の総膜厚が全膜厚の20%〜98%であること特徴とする硬質炭素膜被覆部材。
請求項（抜粋）：
硬質炭素膜が基材上に被覆された部材において、少なくとも1種類以上の金属元素が添加された硬質炭素膜と、少なくとも1種類以上の金属又は金属炭化物又は金属窒化物又は金属炭窒化物とを繰り返し交互に積層して被覆層が形成され、繰り返しの周期が1nm〜3μmであることを特徴とする硬質炭素膜被覆部材。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C 14/06 F
, C23C 16/30
