特許

J-GLOBAL ID：200903096005120686

サンプル形状の特性を測定するための方法および装置

発明者： ジャイン、ロヒット ,  リチャーズ、ジョン
出願人/特許権者： ビーコ インストルメンツ インコーポレイテッド
代理人 (4件)： 恩田 博宣 ,  恩田 誠 ,  本田 淳 ,  池上 美穂
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-531417
公開番号（公開出願番号）：特表2009-509145
出願日： 2006年09月18日
公開日（公表日）： 2009年03月05日
要約：

サンプルの表面形状を測定するためのSPMベースの計測技法は、表面形状のSPM走査の結果取得された形状端部ポイントの一群に曲線をフィットさせる。2つの曲線が注目する形状の両端部でフィットされる場合、それらの曲線間の最大または最小距離を決定して、最大ビア幅、最小ライン幅などの注目する寸法を確定することができる。走査は、好ましくは、Y方向には比較的低い解像度の走査であり、一般に、注目する形状全体で8〜12個の走査プロファイルを有し、従来技法で一般に使用される解像度の約半分の低解像度である。低解像度走査は比較的迅速に高い併行精度で行うことができる。併行精度も従来技法の場合よりも高く、併行精度のレベルはY方向の解像度に比較的影響されない。低解像度を使用するとチップ摩耗も著しく減少し、高解像度走査と比較して処理能力が向上する。

請求項（抜粋）：

サンプル形状の特性を測定する方法であって、 (A)サンプルの少なくとも一部の、複数のSPM走査プロファイルを取得する工程と、 (B)該サンプルの形状の少なくとも1つの端部の位置を決定する工程と、 (C)該端部の該決定された位置を通る曲線をフィットさせる工程と を備える、方法。

IPC (2件)：

G01B 21/20 ,  G01N 13/10

FI (2件)：

G01B21/20 101 ,  G01N13/10 121B

Fターム (9件)：

2F069AA49 ,  2F069AA61 ,  2F069BB15 ,  2F069DD15 ,  2F069GG51 ,  2F069HH02 ,  2F069HH30 ,  2F069JJ08 ,  2F069NN17

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 走査型プローブ顕微鏡による溝形状の解析方法およびディスク基板または導光板の評価方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-001375   出願人：帝人化成株式会社
• 電子ビーム測長方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-244664   出願人：株式会社ニコン