特許
J-GLOBAL ID:200903096029601855

フッ化水素の回収方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 三枝 英二 (外6名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-269589
公開番号(公開出願番号):特開2003-081613
出願日: 2001年09月05日
公開日(公表日): 2003年03月19日
要約:
【要約】【課題】フッ化水素を回収して有効に利用する。【解決手段】フッ化水素及び硝酸を含む被処理液をアニオン交換樹脂と接触させて硝酸を除去することを特徴とする、フッ酸の回収方法。
請求項(抜粋):
少なくともフッ化水素及び硝酸を含む廃水をアニオン交換樹脂と処理して硝酸を除去することを特徴とする、フッ酸の回収方法。
IPC (3件):
C01B 7/19 ZAB ,  B01J 49/00 ,  C02F 1/42
FI (4件):
C01B 7/19 ZAB C ,  B01J 49/00 G ,  B01J 49/00 K ,  C02F 1/42 E
Fターム (6件):
4D025AA09 ,  4D025AB06 ,  4D025AB11 ,  4D025BA13 ,  4D025BB09 ,  4D025DA10
引用特許:
審査官引用 (8件)
  • 特開昭58-055307
  • フツ化水素の回収方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平4-315740   出願人:ダイキン工業株式会社
  • 半導体基板の洗浄方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平9-030805   出願人:富士通株式会社
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