Si微粒子の製造方法とSi微粒子薄膜の製造方法及びSi微粒子薄膜を用いた発光素子

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-336715
公開番号（公開出願番号）：特開平9-181353
出願日： 1995年12月25日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：

【要約】【課題】ナノメートルオーダのSi微粒子における発光強度を高めることができ、新機能デバイスの実現に寄与する。【解決手段】発光素子材料として使用するSi微粒子の製造方法において、Siの小片をヒータ加熱によって蒸発させ、これをガラスチャンバ12の壁面に冷却されて固化状態にある有機溶媒の表面に付着させ、その後に有機溶媒の冷却を止めて液化させることにより、有機溶媒中にSiの微粒子25を生成し、次いでSi微粒子25を含む有機溶媒中にpH10のKOHを添加してアルカリ処理する。

請求項（抜粋）：