ゲート誘電体層及びパッシベーション層としてポリ(アリーレンエーテル)ポリマーを有する薄膜トランジスタ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：青木篤 , 石田敬 , 古賀哲次 , 高橋正俊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-147136
公開番号（公開出願番号）：特開2007-321152
出願日： 2007年06月01日
公開日（公表日）： 2007年12月13日
要約：

【課題】ポリ(アリーレンエーテル)ポリマーを薄膜トランジスタのパッシベーション層又はゲート誘電体層として提供することによる、従来の材料に関連した問題、及びTFTに層又は膜を適用する方法に関連した問題を解決する。【解決手段】以下の構造のポリマー繰り返し単位が含まれる、ポリ(アリーレンエーテル)ポリマーを薄膜トランジスタのパッシベーション層又はゲート誘電体層として使用する。 -(O-Ar1-O-Ar2)m-(O-Ar3-O-Ar4)n-(式中、Ar1、Ar2、Ar3及びAr4は、同一又は異種のアリール基、mは0〜1、nは1-mであり、アリール基の少なくとも1つがポリマー骨格にグラフトしている。)【選択図】図1

請求項（抜粋）：

以下の構造の繰り返し単位を含む少なくとも1種のポリマーを含んでなる、薄膜トランジスタにおけるゲート誘電体層又はパッシベーション層。 -(O-Ar1-O-Ar2)m-(O-Ar3-O-Ar4)n- (式中、Ar1、Ar2、Ar3及びAr4は、同一又は異種のアリール基、mは0〜1、nは1-mであって、該アリール基の少なくとも1つが、少なくとも1つの不飽和基又は飽和基とグラフトしており、該少なくとも1つの不飽和基又は飽和基は非芳香族であって、硬化中に揮発分を生成せず、かつ硬化後に官能基を提供することなく、200°C未満の硬化温度で架橋するように適合している。)

IPC (5件)：

C08G 65/38 , C08J 7/00 , H01L 29/786 , H01L 51/05 , H01L 51/30

FI (9件)：

C08G65/38 , C08J7/00 302 , C08J7/00 , C08J7/00 301 , H01L29/78 618B , H01L29/78 617T , H01L29/78 619A , H01L29/28 100A , H01L29/28 280

Fターム (43件)：

4F073AA07 , 4F073AA13 , 4F073BA27 , 4F073BB02 , 4F073CA42 , 4F073CA45 , 4F073CA51 , 4F073CA53 , 4F073GA11 , 4J005AA21 , 4J005BA00 , 5F110AA12 , 5F110AA16 , 5F110BB01 , 5F110BB05 , 5F110BB09 , 5F110BB10 , 5F110BB20 , 5F110CC03 , 5F110CC05 , 5F110CC07 , 5F110DD01 , 5F110DD02 , 5F110DD05 , 5F110EE02 , 5F110EE03 , 5F110EE04 , 5F110EE42 , 5F110FF01 , 5F110FF05 , 5F110FF27 , 5F110GG05 , 5F110GG42 , 5F110HK02 , 5F110HK03 , 5F110HK04 , 5F110HK32 , 5F110NN02 , 5F110NN27 , 5F110NN28 , 5F110NN33 , 5F110NN36 , 5F110QQ06

引用特許：

出願人引用 (1件)

米国特許第6060170号明細書

審査官引用 (5件)

ポリ(アリーレンエーテル)ポリマー及びこれを含む組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-004526 出願人：エアプロダクツアンドケミカルズインコーポレイテッド
ポリマー絶縁膜の液晶表示体
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-133553 出願人：旭化成工業株式会社
電子デバイスのための誘電材料
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-319089 出願人：ゼロックスコーポレイション

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