特許

J-GLOBAL ID：200903096162442727

基板搬送装置

発明者： 谷口 竹志 ,  奥野 英治
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 小谷 悦司 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-133759
公開番号（公開出願番号）：特開平10-326820
出願日： 1997年05月23日
公開日（公表日）： 1998年12月08日
要約：

【要約】【課題】 一対の軸状の支持部材で基板を支持して搬送するように構成された基板搬送装置において、その機能性を高める。【解決手段】 処理部の配設方向(X軸方向)に延びるガイド板12を設け、このガイド板12に沿って移動可能な可動部材16を設けた。可動部材16には、X軸方向に延びる一対の固定レール24を設け、これらに一対の可動片25を移動可能に装着するとともにエアシリンダ26により進退駆動するようにした。各可動片25には、それぞれY軸方向に延びるアーム22を設けるとともに、これらアーム22に支持爪32を装着した。そして、これら一対のアーム22により、支持爪32を介して基板Wの対向する2辺に沿って基板Wを支持するようにした。

請求項（抜粋）：

基板を水平に支持して搬送する基板搬送装置において、基板を支持する一対の支持部材と、これら支持部材の間隔を変更する間隔可変手段と、一対の支持部材を一体に移動させる移動手段とを備えていることを特徴とする基板搬送装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

H01L 21/68 A ,  H01L 21/30 502 J

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 基板搬送装置及び基板搬送方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-125718   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• 露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-303690   出願人：株式会社東芝

審査官引用 (2件)

• 基板搬送装置及び基板搬送方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-125718   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• 露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-303690   出願人：株式会社東芝