特許
J-GLOBAL ID：200903096206127298

感光性ポリマー及びこれを含むフォトレジスト組成物

発明者：
崔 相 俊

崔 相 俊 について


出願人/特許権者：
三星電子株式会社

三星電子株式会社 について


代理人 (1件)： 八田 幹雄 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-245183
公開番号（公開出願番号）：特開2003-096136
出願日： 2002年08月26日
公開日（公表日）： 2003年04月03日
要約：
【要約】【課題】 ヒドロキシアルキルビニールエーテルモノマーユニットを含む感光性ポリマー及びこれを用いたレジスト組成物を提供する。【解決手段】 下記式で表わされるアルキルビニールエーテルモノマーユニットを含む重量平均分子量が3,000〜50,000である感光性ポリマー;【化1】(式中、xは3〜6の整数であり、R1及びR2は各々C1〜C20のアルキル基、C1〜C10のフルオロアルキル基又はC1〜C10のパーフルオロアルキル基である。)。
請求項（抜粋）：
下記式で表わされるアルキルビニールエーテルモノマーユニット10〜90モル%と、C4〜C20の酸分解性炭化水素基が結合されたアクリレート誘導体、メタクリレート誘導体、フマレート誘導体、及び4-ヒドロキシスチレン誘導体よりなる群から選ばれた少なくとも一つのモノマーユニットまたはC4〜C20の酸分解性置換基が結合されたアクリロニトリル誘導体とノルボルネン誘導体よりなる群から選ばれた少なくとも一つのモノマーユニット10〜90モル%とを含む重量平均分子量が3,000〜50,000である感光性ポリマー;【化1】(式中、xは3〜6の整数であり、R1及びR2は、各々C1〜C20のアルキル基、C1〜C10のフルオロアルキル基又はC1〜C10のパーフルオロアルキル基である。)。
IPC (6件)：
C08F216/14 ,  C08F220/12 ,  C08F222/00 ,  C08F232/08 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027
FI (6件)：
C08F216/14 ,  C08F220/12 ,  C08F222/00 ,  C08F232/08 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R
Fターム (31件)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025CB08 ,  2H025CB10 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  2H025CB55 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  4J100AE09P ,  4J100AE10P ,  4J100AK31Q ,  4J100AL08Q ,  4J100AR11Q ,  4J100BA03P ,  4J100BA04Q ,  4J100BA15Q ,  4J100BB18P ,  4J100BC12Q ,  4J100CA03 ,  4J100DA01 ,  4J100DA28 ,  4J100DA61
引用特許：
審査官引用 (2件)

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