特許

J-GLOBAL ID：200903096267315046

圧電素子、圧電アクチュエーター、圧電ポンプ、インクジェット式記録ヘッド、インクジェットプリンター、表面弾性波素子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、薄膜圧電共振子、および電子機器

発明者： 宮澤 弘
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (2件)： 布施 行夫 ,  大渕 美千栄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-270189
公開番号（公開出願番号）：特開2006-086368
出願日： 2004年09月16日
公開日（公表日）： 2006年03月30日
要約：

【課題】 良好な圧電特性を有する圧電素子を提供する。【解決手段】 本発明に係る圧電素子1は, 基板2と、 基板2の上方に形成されたバッファ層5と、 バッファ層5の上方に形成された、ペロブスカイト型構造を有する圧電体層6と、を含み、 バッファ層5は、導電性を有し,c軸(001)に優先配向しているビスマス系層状ペロブスカイト構造化合物からなる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基板と、 前記基板の上方に形成されたバッファ層と、 前記バッファ層の上方に形成された、ペロブスカイト型構造を有する圧電体層と、を含み、 前記バッファ層は、導電性を有し、c軸(001)に優先配向しているビスマス系層状ペロブスカイト構造化合物からなる、圧電素子。

IPC (6件)：

H01L 41/22 ,  F04B 9/00 ,  H02N 2/00 ,  H03B 5/30 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187

FI (8件)：

H01L41/22 Z ,  F04B9/00 B ,  H02N2/00 B ,  H03B5/30 A ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 J ,  H01L41/08 L ,  H01L41/18 101D

Fターム (15件)：

3H075AA00 ,  3H075BB04 ,  3H075BB30 ,  3H075CC32 ,  3H075DA02 ,  3H075DA05 ,  3H075DA06 ,  3H075DA11 ,  3H075DB02 ,  3H075EE11 ,  5J079AA08 ,  5J079BA43 ,  5J079HA06 ,  5J079HA22 ,  5J079KA08

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 圧電体素子、インクジェット式記録ヘッド及びこれらの製造方法並びにインクジェットプリンタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-030472   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 圧電体薄膜素子、その製造方法、及び圧電体薄膜素子を用いたインクジェット式記録ヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-245353   出願人：セイコーエプソン株式会社