特許
J-GLOBAL ID：200903096326869581
基板搬送方法、基板搬送装置、及び露光装置、並びにデバイス製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
立石 篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-337069
公開番号（公開出願番号）：特開平11-284052
出願日： 1998年11月27日
公開日（公表日）： 1999年10月15日
要約：
【要約】【課題】 基板搬送時間の短縮によりスループットの向上を図る。【解決手段】基板受け渡し位置(B点)に搬出アーム52を待機させておき、次いで基板Wを保持した基板保持部材18を基板受け渡し位置まで移動させ、基板Wを基板保持部材18から搬出アーム52に渡す。そして、搬出アーム52と基板保持部材18とを相対移動させ、基板Wを保持した搬出アーム52を基板保持部材18から退避させる。この場合、基板保持部材18から搬出アーム52に対する基板の受け渡しは、搬出アームではなく、これより高速で移動する基板保持部材18を基板受け渡し位置まで移動させることにより行われ、その受け渡し完了後の基板を保持した搬出アームの基板保持部材からの退避も搬出アーム52と基板保持部材18との相対移動によりおこなわれるので、従来のアンローディングアームとセンターアップとの共同作業による基板のアンローディングに比べて高速な基板保持部材からの基板の搬出(アンローディング)が可能になり、スループットの向上が可能になる。
請求項（抜粋）：
2次元面内で移動可能な基板保持部材から基板を搬出する基板搬送方法であって、基板受け渡し位置に搬出アームを待機させる第1工程と;前記基板を保持した前記基板保持部材を前記基板受け渡し位置まで移動させ、前記基板を前記基板保持部材から前記搬出アームに渡す第2工程と;前記搬出アームと前記基板保持部材とを相対移動させ、前記基板を保持した前記搬出アームを前記基板保持部材から退避させる第3工程とを含む基板搬送方法。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B65G 49/07
, G03F 7/20 521
, H01L 21/027
H01L 21/68 A
, H01L 21/68 K
, B65G 49/07 C
, G03F 7/20 521
, H01L 21/30 502 J
, H01L 21/30 514 D
