特許

J-GLOBAL ID：200903096346531765

画像の記録及び表面の調査のための方法及び装置

発明者： サンドストローム、トルビョルン
出願人/特許権者： マイクロニック レーザー システムズ アクチボラゲット
代理人 (9件)： 特許業務法人浅村特許事務所 ,  浅村 皓 ,  浅村 肇 ,  横田 裕弘 ,  吉田 裕 ,  森 徹 ,  白江 克則 ,  田中 正 ,  金井 建
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-506995
公開番号（公開出願番号）：特表2009-535609
出願日： 2007年04月27日
公開日（公表日）： 2009年10月01日
要約：

本出願は画像を記録するための新しい方法を開示する。本出願は、多くの科学分野及び技術分野における顕微鏡検査及び表面分析に関する。特に、本出願は、マイクロエレクトロニクス、すなわち、パターン化されていないウェハ、パターン化されたウェハ、及びフォトマスクで使用される表面の画像化及び検査に関する。本出願は、電気振幅を記録するという意味で、ホログラフィに関する。用途には、顕微鏡検査、欠陥検査、光波散乱計測、及び光学計測が含まれる。

請求項（抜粋）：

画像平面で試験サンプルの光学的特性を収集する方法であって、 ビームを参照ビーム及び照明ビームに分割することと、 試験サンプルを前記照明ビームにさらすことと、 前記参照ビームと前記照明ビームとを再結合させることと、 画像データを1つ又は複数の画像センサで検出することと、 前記画像データから偏光、位相、及びパワーのポイントごとのマップを抽出することと を含む方法。

IPC (7件)：

G01B 11/30 ,  G01N 21/88 ,  G01B 11/24 ,  G01B 11/02 ,  G01B 11/06 ,  G01N 21/956 ,  H01L 21/66

FI (7件)：

G01B11/30 A ,  G01N21/88 H ,  G01B11/24 D ,  G01B11/02 G ,  G01B11/06 G ,  G01N21/956 A ,  H01L21/66 J

Fターム (40件)：

2F065AA20 ,  2F065AA22 ,  2F065AA24 ,  2F065AA49 ,  2F065AA51 ,  2F065FF50 ,  2F065FF52 ,  2F065GG04 ,  2F065GG25 ,  2F065HH08 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL12 ,  2F065LL21 ,  2F065LL33 ,  2F065LL37 ,  2F065LL46 ,  2F065LL57 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ16 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051BA10 ,  2G051BA11 ,  2G051BB05 ,  2G051CA04 ,  4M106AA01 ,  4M106AA09 ,  4M106CA38 ,  4M106DB02 ,  4M106DB04 ,  4M106DB08 ,  4M106DB14 ,  4M106DB18 ,  4M106DB19

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 干渉計測装置及び格子干渉式エンコーダ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-066798   出願人：キヤノン株式会社
• 大等価波長を用いた物体表面形状測定方法及びシステム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-024242   出願人：ジゴーコーポレーション
• 非接触表面形状測定方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-138043   出願人：株式会社東京精密