Crタ-ゲット材およびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-000904
公開番号（公開出願番号）：特開2000-199055
出願日： 1999年01月06日
公開日（公表日）： 2000年07月18日
要約：

【要約】【課題】 CrとBからなるCrターゲット材に関し、高い成膜速度条件に耐え、また、B添加量が多いCrターゲット材、およびその製造方法の提供。【解決手段】 B:5at%のCrターゲット材において、CrとBとの化合物相の面積率を40%以下に規制する。

請求項（抜粋）：

Bを5at%以上含むCrを主成分とするターゲット材において、CrとBとの化合物相の面積率が40%以下であることを特徴とするCrターゲット材。

IPC (2件)：

C23C 14/34 , C22C 27/06

FI (2件)：

C23C 14/34 A , C22C 27/06

Fターム (7件)：

4K029BA07 , 4K029BA21 , 4K029CA03 , 4K029CA05 , 4K029DC04 , 4K029DC09 , 4K029DD06

引用特許：

審査官引用 (5件)

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