特許

J-GLOBAL ID：200903096358715462

固体撮像素子

発明者： 藤井 映志 ,  村田 晶子 ,  友澤 淳 ,  鳥井 秀雄
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (10件)： 前田 弘 ,  小山 廣毅 ,  竹内 宏 ,  嶋田 高久 ,  竹内 祐二 ,  今江 克実 ,  藤田 篤史 ,  二宮 克也 ,  原田 智雄 ,  井関 勝守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-157273
公開番号（公開出願番号）：特開2005-340498
出願日： 2004年05月27日
公開日（公表日）： 2005年12月08日
要約：

【課題】 集光効率及び信頼性の高い固体撮像素子を提供する。 【解決手段】 固体撮像素子は、半導体基板100表面に形成され、光電変換を行なう受光部101と、半導体基板100上に形成され且つ受光部101上に凹部を有する絶縁膜110と、前記凹部に形成され、入射光を受光部101に集光する光導波路111とを備え、光導波路111の屈折率は絶縁膜110の屈折率よりも大きく、光導波路111の中央部に空隙112を有する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

半導体基板表面に形成され、光電変換を行なう受光部と、 前記半導体基板上に形成され且つ前記受光部上に凹部を有する絶縁膜と、 前記凹部に形成され、入射光を前記受光部に集光する光導波路とを備え、 前記光導波路の屈折率は前記絶縁膜の屈折率よりも大きく、 前記光導波路の中央部に空隙を有することを特徴とする固体撮像素子。

IPC (3件)：

H01L27/14 ,  H01L31/10 ,  H04N5/335

FI (3件)：

H01L27/14 D ,  H04N5/335 U ,  H01L31/10 A

Fターム (24件)：

4M118AA01 ,  4M118AA05 ,  4M118AB01 ,  4M118BA13 ,  4M118FA06 ,  4M118FA26 ,  4M118FA35 ,  4M118GA09 ,  4M118GB11 ,  4M118GB18 ,  4M118GC07 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  5C024BX01 ,  5C024CX41 ,  5C024CY47 ,  5C024EX43 ,  5C024GX03 ,  5C024GX07 ,  5F049MA02 ,  5F049NA01 ,  5F049NB05 ,  5F049QA03 ,  5F049SZ20

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 固体撮像素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-134612   出願人：ソニー株式会社
• 固体撮像素子及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-320885   出願人：ソニー株式会社
• 固体撮像素子およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-047472   出願人：ソニー株式会社