特許
J-GLOBAL ID：200903096399284573

インピーダンス整合装置

発明者：
小谷 弘幸

小谷 弘幸 について


出願人/特許権者：
株式会社ダイヘン

株式会社ダイヘン について


代理人 (1件)： 松本 英俊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-248468
公開番号（公開出願番号）：特開2003-204237
出願日： 2002年08月28日
公開日（公表日）： 2003年07月18日
要約：
【要約】【課題】入力部で検出した電流及び電圧に基本周波数と異なる周波数成分が含まれるために電流及び電圧の波形が歪んでいる場合でも、インピーダンス整合を自動的に行うことができるインピーダンス整合装置を提供する。【解決手段】入力部に設けた検出部DETが出力する電流検出信号VHI及び電圧検出信号VHVをローカル周波数を有する信号VLOとともにミキサMIX1 及びMIX2 に入力した後フィルタF1 及びF2 を通すことにより、波形歪みがない正弦波形の電流検出信号VLI及び電圧検出信号VLVに変換する。電流検出信号VLI及び電圧検出信号VLVをインピーダンス差信号発生部MEと位相差信号発生部PEとに入力することにより発生させたインピーダンス差信号Vmdと位相差信号Vpdとを制御部CUに入力して整合部MNの可変インピーダンス素子を制御する。
請求項（抜粋）：
高周波電源の出力が入力される入力部と、前記高周波電源が電力を供給する負荷が接続される出力部と、前記入力部を流れる高周波電流と前記入力部に入力される高周波電圧とを検出して前記入力部から前記高周波電源側を見た電源側インピーダンスと前記入力部から前記負荷側を見た負荷側インピーダンスとの差をインピーダンス差として検出し、前記高周波電圧と前記高周波電流との位相差を検出する検出部と、前記電源側インピーダンスと負荷側インピーダンスとを整合させる際に調節される可変インピーダンス素子を有する整合部と、前記高周波電源の出力周波数を基本周波数として該基本周波数に対して前記負荷側インピーダンスを前記電源側インピーダンスに整合させるべく前記検出部により検出されたインピーダンス差及び位相差に応じて前記整合部の可変インピーダンス素子を自動制御する制御部とを備えたインピーダンス整合装置において、前記検出部は、前記入力部を流れる高周波電流及び前記入力部に入力される高周波電圧をそれぞれ検出して高周波電流検出信号及び高周波電圧検出信号をそれぞれ出力する電流検出部及び電圧検出部と、入力信号を該入力信号と異なる周波数を有するローカル信号と混合する周波数変換処理を少なくとも1回行って前記高周波電流検出信号を前記基本周波数よりも周波数が低い低周波電流成分を含む信号に変換する第1の周波数変換部と、入力信号を該入力信号と異なる周波数を有するローカル信号と混合する周波数変換処理を少なくとも1回行って前記高周波電圧検出信号を前記低周波電流成分と周波数が等しい低周波電圧成分を含む信号に変換する第2の周波数変換部と、前記第1の周波数変換部の出力信号から前記低周波電流成分を検出する低周波電流成分検出手段と、前記第2の周波数変換部の出力から前記低周波電圧成分を検出する低周波電圧成分検出手段と、前記低周波電流成分と低周波電圧成分とから前記インピーダンス差を検出するインピーダンス差検出手段と、前記低周波電流成分と低周波電圧成分とから前記位相差を検出する位相差検出手段とを具備してなるインピーダンス整合装置。
IPC (2件)：
H03H 7/40 ,  H05H 1/46
FI (2件)：
H03H 7/40 ,  H05H 1/46 R
引用特許：
審査官引用 (9件)
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