感放射線性樹脂組成物

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-217744
公開番号（公開出願番号）：特開平6-317902
出願日： 1993年09月01日
公開日（公表日）： 1994年11月15日
要約：

【要約】【目的】紫外線、X線、電子線に対して高感度であり且つ高解像性であり、安定して微細なパターンを得ることができる感放射線性樹脂組成物を提供する。【構成】(a)酸により分解する置換基を有する化合物、(b)1,2-ナフトキノンジアジド-4-スルホン酸エステル、(c)水溶液の状態での温度25°Cにおける酸解離定数pKaが5.2以下の塩基性化合物を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物である。

請求項（抜粋）：

(a)酸により分解する置換基を有する化合物、(b)1,2-ナフトキノンジアジド-4-スルホン酸エステル、(c)水溶液の状態での温度25°Cにおける酸解離定数pKaが5.2以下である塩基性化合物を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/022 , C08K 5/18 , C08K 5/3417 , C08K 5/3495 , C08K 5/42 , C08L 61/14 LMR , H01L 21/30

引用特許：

審査官引用 (10件)

特開平3-249654
特開平3-249654
特開平4-080758

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