特許

J-GLOBAL ID：200903096478574218

電子線装置

発明者： 境 悠 治
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-332488
公開番号（公開出願番号）：特開2000-155103
出願日： 1998年11月24日
公開日（公表日）： 2000年06月06日
要約：

【要約】【課題】 水素の試料内部の情報まで得ることができる電子線装置を提供すること。【解決手段】 試料から放出される水素イオンの強度信号は、分析位置に対応してメモリ20に記憶される。メモリ20に記憶された試料面S1〜Snに関する強度データは画像処理手段21に送られ、画像処理回路21は、強度データを”1”または”0”のデータに2値化する。そして、画像処理手段21は、”1”で表わされたデータを抽出し、抽出したデータから3次元画像データを作成する。そして、表示手段22には、水素の3次元分布像が表示される。

請求項（抜粋）：

試料上で電子線を2次元的に走査し、該走査により試料から放出されるイオンを質量分析手段で分析して特定元素の2次元画像データを得るようにした電子線装置において、試料表面をエッチングするイオン銃を備え、試料エッチングと前記2次元画像データの取得を交互に行い、得られた2次元画像データから特定元素の3次元画像データを得るように構成されたことを特徴とする電子線装置。

IPC (5件)：

G01N 23/225 ,  G01N 27/62 ,  H01J 37/22 502 ,  H01J 37/252 ,  H01J 37/256

FI (5件)：

G01N 23/225 ,  G01N 27/62 D ,  H01J 37/22 502 A ,  H01J 37/252 B ,  H01J 37/256

Fターム (27件)：

2G001AA03 ,  2G001BA06 ,  2G001BA29 ,  2G001CA05 ,  2G001DA09 ,  2G001EA04 ,  2G001EA07 ,  2G001FA06 ,  2G001FA21 ,  2G001GA06 ,  2G001GA08 ,  2G001GA09 ,  2G001GA11 ,  2G001GA16 ,  2G001HA07 ,  2G001HA12 ,  2G001HA13 ,  2G001JA11 ,  2G001JA14 ,  2G001KA01 ,  2G001NA01 ,  2G001RA04 ,  2G001SA29 ,  5C033QQ02 ,  5C033QQ10 ,  5C033QQ11 ,  5C033QQ13

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭52-057884
  
• 半導体分析装置、電位分布の測定法、不純物濃度分布の測定法及びオージェ電子スペクトル解析法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-040531   出願人：日本電気株式会社
• 多機能試料表面分析装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-075539   出願人：科学技術振興事業団
• 特開平2-108949