合成石英ガラス基板

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-397079
公開番号（公開出願番号）：特開2003-192364
出願日： 2001年12月27日
公開日（公表日）： 2003年07月09日
要約：

【要約】【課題】徐冷点が高く、耐熱性に優れ、かつ光学的くもりが生じない合成石英ガラス基板を得る。【解決手段】合成石英ガラス基板であって、ハロゲン含有量が10ppm以下、OH基含有量が100ppm以下、重金属及びアルカリ金属の含有量の総計が1ppm以下、徐冷点が1050°C以上であり、かつ基板内の複屈折が0.5nm/cm以下であることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

合成石英ガラス基板であって、ハロゲン含有量が10ppm以下、OH基含有量が100ppm以下、重金属及びアルカリ金属の含有量の総計が1ppm以下、徐冷点が1050°C以上であり、かつ基板内の複屈折が0.5nm/cm以下であることを特徴とする合成石英ガラス基板。

IPC (3件)：

C03B 20/00 , G02F 1/1333 500 , G02F 1/1368

FI (4件)：

C03B 20/00 F , C03B 20/00 E , G02F 1/1333 500 , G02F 1/1368

Fターム (9件)：

2H090JB02 , 2H090JD18 , 2H090LA04 , 2H090LA09 , 2H092JA24 , 2H092NA25 , 2H092PA01 , 2H092PA11 , 4G014AH00

引用特許：

審査官引用 (4件)

光学用高耐熱性石英ガラスとその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-357809 出願人：旭硝子株式会社
石英ガラスの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-356663 出願人：新日鐵化学株式会社, セイコーエプソン株式会社
石英ガラスの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-318088 出願人：株式会社ニコン

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