石英ガラス溶融用カーボン電極およびその製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：波多野久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-278813
公開番号（公開出願番号）：特開2001-097775
出願日： 1999年09月30日
公開日（公表日）： 2001年04月10日
要約：

【要約】【課題】カーボン電極から石英ガラスへの粒子の脱落をなくして、石英ガラス内に泡が発生するのを防止し、このカーボン電極を用いて製造した石英ガラスルツボを用いてシリコン単結晶の引上げを行う場合にも、透明層に存在する泡によって、単結晶化歩留りが低下することがなく、消耗が少なく耐用寿命が長いカーボン電極およびその製造方法を提供する。【解決手段】アーク放電により石英ガラスを溶融するのに用いられる石英ガラス溶融用カーボン電極1において、この電極基材がかさ密度が1.80g/cm3以上で、かつ3点曲げ強さが35MPa以上のカーボンからなることを特徴とする石英ガラス溶融用カーボン電極。またその製造方法。

請求項（抜粋）：

アーク放電により石英ガラスを溶融するのに用いられる石英ガラス溶融用カーボン電極において、この電極基材がかさ密度1.80g/cm3以上で、かつ3点曲げ強さ35MPa以上のカーボンからなることを特徴とする石英ガラス溶融用カーボン電極。

IPC (3件)：

C04B 35/52 , C03B 20/00 , H05B 7/06

FI (3件)：

C03B 20/00 A , H05B 7/06 , C04B 35/54 A

Fターム (10件)：

3K084AA12 , 3K084CA09 , 3K084CA10 , 4G014AH01 , 4G032AA04 , 4G032AA09 , 4G032AA13 , 4G032BA05 , 4G032GA09 , 4G032GA11

引用特許：

審査官引用 (10件)

低熱膨張係数を有する高密度等方性黒鉛材の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-010186 出願人：新日本製鐵株式会社, 新日鐵化学株式会社
石英るつぼの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-040766 出願人：住金石英株式会社
高純度石英ガラスルツボの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-192729 出願人：信越石英株式会社

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