光学吸収セル

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：千葉剛宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-199428
公開番号（公開出願番号）：特開平10-038794
出願日： 1996年07月29日
公開日（公表日）： 1998年02月13日
要約：

【要約】【課題】試料セル内に導入したガス分子の微弱な光スペクトル吸収を観測するレーザ分光分析装置において、試料セルとして用いられる光学吸収セルを構成する光学素子を低減し、かつレーザの光路中から不要なガスを排除する。【解決手段】試料ガスが導入される試料セル部30Aに対して、レーザビームLを発生する投光部10と、試料セル31を通過したレーザビームLを受光する受光部40とが、シール構造45、46を介して直接接続される一体化シール構造の光学吸収セル3とする。この一体化シール構造を採用することにより、投光部10内の気密容器14の室内と、試料セル31の室内と受光素子41とが一体室化され、不要なガスを排除することができる。また、従来必要であった、投光部10のレーザビームLの出射部における光学窓、試料セル31の入出射部における光学窓、受光部40の入射部における光学窓を一切不要とすることができる。

請求項（抜粋）：

半導体レーザを光源とし、この光源の光波長を掃引することによって、試料セル内に導入したガス分子の微弱な光スペクトル吸収を観測するレーザ分光分析装置で試料セルとして用いられる光学吸収セルにおいて、半導体レーザと、その温度制御装置と、前記半導体レーザから出射されるレーザ光を平行光にするコリメートレンズとを低圧または真空に封じる気密容器からなる投光部と、試料ガスを導入、排出するガスポートと、前記平行光とされたレーザ光が入射され導入された試料ガスの光スペクトル吸収を観測する単一光路または多重反射光路を有する試料セルとからなる試料セル部と、前記試料セルを通過したレーザ光が入射され、レーザの光強度を検出する受光素子と、この受光素子で反射したレーザ光を終端する反射光終端部とからなる受光部と、前記投光部のレーザ光出射部と、前記試料セル部のレーザ光入射部とを直接連結させるシール構造と、前記試料セル部のレーザ光出射部と、前記反射光終端部のレーザ光入射部とを直接連結させるシール構造とを備えることを特徴とする光学吸収セル。

IPC (2件)：

G01N 21/03 , G01N 21/35

FI (2件)：

G01N 21/03 Z , G01N 21/35 Z

引用特許：

審査官引用 (4件)

半導体レーザーを用いた水分分析装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-260859 出願人：日本酸素株式会社, 竹内延夫
光学式分析装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-231047 出願人：日本碍子株式会社
特開平3-209150

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