放射線検出器

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川芳樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-031283
公開番号（公開出願番号）：特開2003-232861
出願日： 2002年02月07日
公開日（公表日）： 2003年08月22日
要約：

【要約】【課題】開口率が大きく、光クロストークが抑制され、組み立て時の位置合わせが容易な放射線検出器を提供する。【解決手段】シンチレータパネル1は、2次元状に配列された複数のシンチレータ11と、X線遮蔽部材からなるシンチレータ固定用部材12とが一体に固定されることによって構成されており、シンチレータ固定用部材12がシンチレータパネル1の光出射面に対して凹設されて凹状部Aが形成されている。また、フォトダイオードアレイ2は裏面入射型の構成を有し、その光入射面には凹状部Aに嵌合する凸状部Bが形成されている。そして、シンチレータパネル1とフォトダイオードアレイ2とは、凹状部Aと凸状部Bが嵌合するように光学接着剤によって接合されている。

請求項（抜粋）：

2次元状に配列された複数のシンチレータ、及び前記複数のシンチレータ間にあってこれらを一体に固定するシンチレータ固定用部材からなるシンチレータパネルと、第1導電型の半導体基板内部の表面側に、前記複数のシンチレータに対応して形成され、それぞれフォトダイオードとして機能する複数の第2導電型半導体層を有し、前記半導体基板の裏面が前記シンチレータパネルと接合される光入射面となっている裏面入射型のフォトダイオードアレイとを備え、前記シンチレータパネルは、前記フォトダイオードアレイの前記光入射面と接合される光出射面側に、前記シンチレータ固定用部材が前記光出射面に対して凹設された凹状部を有することを特徴とする放射線検出器。

IPC (4件)：

G01T 1/20 , H01L 27/14 , H01L 31/02 , H04N 5/32

FI (5件)：

G01T 1/20 G , G01T 1/20 E , H04N 5/32 , H01L 31/02 A , H01L 27/14 K

Fターム (28件)：

2G088EE02 , 2G088FF02 , 2G088GG13 , 2G088GG19 , 2G088JJ05 , 2G088JJ09 , 2G088JJ24 , 2G088JJ29 , 2G088JJ37 , 2G088LL12 , 4M118BA03 , 4M118CA02 , 4M118CB11 , 4M118FA06 , 4M118HA24 , 5C024AX12 , 5C024CY47 , 5C024CY49 , 5C024GX03 , 5C024GX09 , 5F088AA02 , 5F088BA18 , 5F088BB07 , 5F088DA01 , 5F088EA04 , 5F088GA07 , 5F088JA17 , 5F088LA08

引用特許：

審査官引用 (5件)

放射線検出器とその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-006632 出願人：株式会社島津製作所
半導体光電気変換装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-045439 出願人：セイコー電子工業株式会社
X線CT装置用の2次元アレイ型放射線検出器
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-297840 出願人：株式会社東芝

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