放射線検出器およびこれを用いたX線CT装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三好秀和 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-122198
公開番号（公開出願番号）：特開平7-333348
出願日： 1994年06月03日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：

【要約】【目的】本発明は各放射線検出素子の検出感度を低下させることなく、これら各放射線検出素子を2次元方向に高密度で配列を可能にし、これによって1回のX線照射で広い範囲のX線データを得る。【構成】 P型のシリコン基板14の裏面に格子状に溝8を形成して複数のシリコン突起13を2次元状に形成し、これらの各シリコン突起13の上面側に複数のN層16を形成して、複数のフォトダイオード23を構成するとともに、前記各N層16を覆うように透明な絶縁膜17、透明な負電極膜18を積層して、シンチレータ11から出射される可視光を受光する。

請求項（抜粋）：

複数の放射線検出素子から成り、入射した放射線を電気信号に変換する放射線検出素子において、前記放射線検出素子は2次元状に密に配設され、当該各放射線検出素子の放射線入射側とは反対の面に信号配線を取り付けたことを特徴とする放射線検出器。

IPC (3件)：

G01T 1/20 , A61B 6/03 320 , G01T 1/24

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開平1-216290
放射線検出素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-224307 出願人：浜松ホトニクス株式会社
インジウムバンプ接続方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-137355 出願人：株式会社東芝

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