エッチング液の再生処理装置及びそれを用いたエッチング装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本秀樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-095836
公開番号（公開出願番号）：特開平11-293479
出願日： 1998年04月08日
公開日（公表日）： 1999年10月26日
要約：

【要約】【課題】連続エッチングにおいても効率的に運転することが可能なエッチング液の再生処理装置及びそれを用いたエッチング装置を実現する。【解決手段】珪素化合物を含む燐酸水溶液のエッチング液をフッ化水素により再生処理する処理槽16が、エッチング液を加温する加熱手段33と、蒸発ガスを排出する排ガス用出口及び該出口に対応して設けられた凝縮器35と、凝縮器35により凝縮された液中のフッ素を分析する分析手段36とを有している構成である。

請求項（抜粋）：

珪素化合物を含む燐酸水溶液のエッチング液をフッ化水素により再生処理する再生処理槽であって、前記再生処理槽が、前記エッチング液を加温する加熱手段と、蒸発ガスを排出する排ガス用出口及び該出口に対応して設けられた凝縮器と、前記凝縮器により凝縮された液中のフッ素を分析する分析手段とを有している、ことを特徴とするエッチング液の再生処理装置。

IPC (3件)：

C23F 1/46 , C23F 1/08 101 , H01L 21/306

FI (4件)：

C23F 1/46 , C23F 1/08 101 , H01L 21/306 E , H01L 21/306 J

引用特許：

出願人引用 (4件)

エッチング液の精製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-253672 出願人：日曹エンジニアリング株式会社
半導体装置の製造方法及び製造装置及び半導体装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-203998 出願人：セイコーエプソン株式会社
特開平4-103781

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