ガスセンサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：塩入明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-116213
公開番号（公開出願番号）：特開平11-295254
出願日： 1998年04月09日
公開日（公表日）： 1999年10月29日
要約：

【要約】【構成】ベース2の凹部12の周囲のガラス部10に、センサ本体22をガラスバンプ38で結合する。【効果】基板からベースへの伝熱を抑制しながら、基板をベースにダイボンドできる。

請求項（抜粋）：

耐熱絶縁基板の一主面側に、ヒータと感ガス部とを形成したガスセンサにおいて、前記基板の他の主面を、ベースに設けた凹部に向き合うように、ガラス部を介して該ベースに固着したことを特徴とするガスセンサ。

IPC (2件)：

G01N 27/12 , G01N 27/00

FI (2件)：

G01N 27/12 B , G01N 27/00 K

引用特許：

審査官引用 (3件)

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