荷電粒子線装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井上学
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-101398
公開番号（公開出願番号）：特開2006-190693
出願日： 2006年04月03日
公開日（公表日）： 2006年07月20日
要約：

【課題】本発明の目的は、試料像の全体に亘って焦点が合った像を得ることにあり、全体に亘ってぼけのない2次元像を獲得できる走査電子顕微鏡の提供にある。【解決手段】上記課題を解決するために、本発明は荷電粒子源より放出された荷電粒子線の焦点を変更する手段と、前記試料の荷電粒子線の照射個所で得られる荷電粒子を検出する荷電粒子検出器と、当該荷電粒子検出器から出力される信号の内、前記荷電粒子線が合焦した部分の信号に基づいて前記荷電粒子線源方向から見た試料の2次元像を合成する手段を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置を提供する。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

荷電粒子源と、当該荷電粒子源より放出された電子線を試料上で走査する走査偏向器と、前記荷電粒子源より放出された荷電粒子線の焦点を段階的に変更する手段と、前記試料の荷電粒子線の照射個所で得られる荷電粒子を検出する荷電粒子検出器と、当該荷電粒子検出器から出力される信号を焦点毎に記憶する記憶媒体と、当該記憶媒体から焦点の合った部分の信号を選択的に読み出し、当該読み出した信号に基づいて前記荷電粒子線の光軸と垂直な方向に広がる2次元像を構築する手段を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。

IPC (2件)：

H01J 37/22 , H01J 37/21

FI (2件)：

H01J37/22 502H , H01J37/21 B

Fターム (1件)：

5C033MM05

引用特許：

審査官引用 (7件)

画像処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-081291 出願人：ソニー株式会社
電子線装置および走査電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-106405 出願人：株式会社日立製作所
顕微鏡像表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-052417 出願人：株式会社ニコン

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