特許

J-GLOBAL ID：200903096693498964

導電性光反射膜およびその形成方法と太陽電池

発明者： 宇野 正義 ,  藤掛 伸二
出願人/特許権者： 富士電機株式会社
代理人 (1件)： 篠部 正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-295937
公開番号（公開出願番号）：特開2003-101052
出願日： 2001年09月27日
公開日（公表日）： 2003年04月04日
要約：

【要約】【課題】適当なテクスチヤー構造をもち、光閉じ込め効果の大きい導電性光反射膜およびその形成方法を得る。【解決手段】基板上に0.1〜1.0at%の範囲のAlを含むAg合金層、或いAg層と0.1〜1.0at%の範囲のAlを含むAg合金層とを積層して反射膜とする。これにより、長波長領域での散乱反射率が高い導電性光反射膜が得られ、この膜をa・Si太陽電池等の薄膜太陽電池に適用すると光閉じ込め効果により短絡電流が向上し、その結果、変換効率が向上する。しかも、同じ温度条件で、Ag層、Alを含むAg合金層、酸化物透明電極膜を堆積することができる。

請求項（抜粋）：

基板上に0.1〜1.0at%の範囲のAlを含むAg合金層を積層したことを特徴とする導電性光反射膜。

IPC (4件)：

H01L 31/04 ,  C22C 5/06 ,  C23C 14/06 ,  C23C 14/14

FI (4件)：

C22C 5/06 Z ,  C23C 14/06 R ,  C23C 14/14 D ,  H01L 31/04 F

Fターム (15件)：

4K029AA11 ,  4K029BA22 ,  4K029BB02 ,  4K029BC03 ,  4K029BD09 ,  4K029CA05 ,  4K029EA01 ,  4K029EA08 ,  5F051AA05 ,  5F051DA04 ,  5F051FA15 ,  5F051FA19 ,  5F051FA23 ,  5F051FA25 ,  5F051GA05

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 反射体及びそれを用いた反射部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-207264   出願人：三井化学株式会社
• 高耐熱性反射膜及びこの反射膜を用いた積層体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-373602   出願人：株式会社フルヤ金属
• シリコン系薄膜光電変換装置用裏面電極、およびそれを備えたシリコン系薄膜光電変換装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-183474   出願人：鐘淵化学工業株式会社