特許
J-GLOBAL ID：200903096705531709

光スキャナ及び光スキャナの製造方法

発明者：
各務 克巳

各務 克巳 について


出願人/特許権者：
ブラザー工業株式会社

ブラザー工業株式会社 について


代理人 (2件)： 山中 郁生 ,  田中 裕人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-002696
公開番号（公開出願番号）：特開2009-163154
出願日： 2008年01月10日
公開日（公表日）： 2009年07月23日
要約：
【課題】ミラー部の揺動軸回りの振幅を検出する検出精度の向上を図ることが可能となる光スキャナを提供する。【解決手段】厚さ約30μm〜200μmの薄長四角形のシリコン基材上において、固定枠6、反射ミラー部8及び各はり部16A、16Bを構成する各ミラー側板ばね部17A、17B、各接続部20A、20B、各枠側板ばね部18A〜18Dから構成される本体部2を形成する。そして、本体部2の圧電素子22Aを挟んで積層された各下部電極21A、21Bと各上部電極23A、23Bとは、揺動軸15に沿って固定枠6上で分割されて積層されている。また、圧電素子22Bを挟んで積層された各下部電極21C、21Dと各上部電極23C、23Dとは、揺動軸15に沿って固定枠6上で分割されて積層されている。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
ミラー部を揺動軸回りに変位駆動して所定方向に光を走査する光スキャナにおいて、 前記ミラー部の揺動軸方向両側にそれぞれ連結されて揺動軸に対して対称に配置される各一対の弾性部と、 前記各一対の弾性部の外側端縁部が連結される固定枠と、 前記各一対の弾性部の表面部から前記固定枠の表面部に渡って積層された一対の下部電極と、 前記一対の下部電極上にそれぞれ前記各一対の弾性部の上側を含むように積層された一対の圧電素子と、 前記一対の圧電素子上にそれぞれ前記各一対の弾性部毎に分割されて積層された各一対の上部電極と、 を備え、 前記一対の下部電極は、前記各一対の上部電極に対応するようにそれぞれ分割されていることを特徴とする光スキャナ。
IPC (3件)：
G02B 26/10 ,  G02B 26/08 ,  H04N 1/036
FI (3件)：
G02B26/10 104Z ,  G02B26/08 E ,  H04N1/036 Z
Fターム (22件)：
2H045AB06 ,  2H045AB73 ,  2H045AB81 ,  2H141MA12 ,  2H141MB24 ,  2H141MC09 ,  2H141MD12 ,  2H141MD16 ,  2H141MF05 ,  2H141MG06 ,  2H141MZ06 ,  2H141MZ16 ,  2H141MZ25 ,  5C051AA02 ,  5C051CA07 ,  5C051DB24 ,  5C051DB30 ,  5C051DC02 ,  5C051DC04 ,  5C051DC05 ,  5C051DC07 ,  5C051DE26
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (4件)
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