マイクロアクチュエータ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：西山恵三 , 内尾裕一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-412005
公開番号（公開出願番号）：特開2005-169553
出願日： 2003年12月10日
公開日（公表日）： 2005年06月30日
要約：

【課題】必要トルクの大きい大変位時に、可動板と駆動手段とが機械的に干渉せず、かつ、発生トルクも大きくでき、小型で消費電力の小さい非共振駆動用のマイクロアクチュエータを提供する。【解決手段】可動板1と、支持基板3と、可動板を支持基板に対して回転軸7を中心としてねじり回転可能に支持する一対の弾性支持部2と、可動板に形成され永久磁石からなる可動磁石4と、可動板を磁場によりねじり回転方向に偏向させる電磁コイル11とを有し、電磁コイル11を、その中心軸が磁場の無い静止状態のときの可動板に垂直な軸に対して可動板のねじり回転方向に傾斜角度を有するように配設する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

可動板と、支持基板と、該可動板を支持基板に対してねじり回転可能に支持する一対の弾性支持部と、該可動板に形成された永久磁石と、該可動板を磁場によりねじり回転方向に偏向させるコイルと、を有するマイクロアクチュエータであって、該コイルの中心軸が、磁場の無い静止状態の可動板に垂直な軸に対して、該可動板のねじり回転方向に傾斜角度を有して設置されることを特徴とするマイクロアクチュエータ。

IPC (2件)：

B81B3/00 , G02B26/10

FI (2件)：

B81B3/00 , G02B26/10 104Z

Fターム (5件)：

2H045AB06 , 2H045AB13 , 2H045AB25 , 2H045AB62 , 2H045AB73

引用特許：

出願人引用 (6件)

特公昭60-57051号公報
特開平4-343318号公報
特公昭60-57052号公報

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