金属試料表面の外観検査方法および外観検査装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小西淳美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-251430
公開番号（公開出願番号）：特開平11-083751
出願日： 1997年09月02日
公開日（公表日）： 1999年03月26日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】リードフレーム等の加工品(金属試料)の表面部のキズ欠陥を検出する外観検方法において、致命的欠陥部を欠陥部として確実に検出し、且つ、一定の基準のもとに擬似欠陥箇所を区分けできる外観検査方法で、該区分けを自動的に行える外観検査方法を提供する。【解決手段】金属試料表面を3つの異なる仰角から照明して同一領域を撮影し、且つ、撮影により得られた、各仰角の照明による画像データにそれぞれRGB3色の1色を割当てて得られた3つの画像データから、RGBカラー画像を合成し、合成された画像の色合いから欠陥、擬似欠陥の判別を行う外観検査方法であって、合成された画像の各画素毎に、その色相値の分類を付与する分類付与工程を有し、分類付与工程の結果に基づき、欠陥、擬似欠陥の判別を行う。

請求項（抜粋）：

金属試料表面を3つの異なる仰角から照明して同一領域を撮影し、且つ、撮影により得られた、各仰角の照明による画像データにそれぞれRGB3色の1色を割当てて得られた3つの画像データから、RGBカラー画像を合成し、合成された画像の色合いから欠陥、擬似欠陥の判別を行う外観検査方法であって、合成された画像の各画素毎に、R色成分の光強度、G色成分の光強度、B色成分の光強度から、色相値を求める工程と、求められた各画素の色相値から、検査する対象の表面状態と色相値の範囲との対応づけがなされているデータベースに従い、合成された画像の各画素毎に、その色相値の分類を付与する分類付与工程とを有し、分類付与工程の結果に基づき、欠陥、擬似欠陥の判別を行うことを特徴とする金属試料表面の外観検査方法。

IPC (2件)：

G01N 21/88 , H01L 23/50

FI (2件)：

G01N 21/88 E , H01L 23/50 Z

引用特許：

審査官引用 (6件)

検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-151606 出願人：オムロン株式会社
画像輪郭強調装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-101006 出願人：富士通株式会社
表面欠陥検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-220568 出願人：日産自動車株式会社

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