特許
J-GLOBAL ID：200903096844779189
洗浄処理方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中本 菊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-342144
公開番号（公開出願番号）：特開平11-162902
出願日： 1997年11月27日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：
【要約】【課題】 洗浄処理のスループットの向上及び製品歩留まりの向上を図れるようにする。【解決手段】 処理装置内に同じ洗浄処理液を貯留する処理容器を複数配設しておき、被処理体例えばウエハを洗浄処理する処理容器に使用不可能な事態、例えば登録されている処理容器がウエハ投入予定時刻に液交換中となっている場合や洗浄処理液供給用ポンプの故障等が生じた場合に、この処理容器と同じ洗浄処理液を貯留する他の処理容器を代替の処理容器としてウエハを投入して、洗浄処理を続行する。
請求項（抜粋）：
処理装置内の搬入部に投入された被処理体を、上記処理装置内に設けられた液処理を行う処理部へ搬送する工程と、上記処理部内に配設され、洗浄処理液を貯留した複数の処理容器内に、上記被処理体を浸漬して洗浄処理する工程と、処理済みの上記被処理体を、搬出部まで搬送する工程と、を有する洗浄処理方法において、上記処理装置内に同じ洗浄処理液を貯留する処理容器を複数配設しておき、上記被処理体を洗浄処理する上記処理容器に使用不可能な事態が生じた際に、この処理容器と同じ洗浄処理液を貯留する他の処理容器を代替の処理容器として上記被処理体を投入するようにしたことを特徴とする洗浄処理方法。
IPC (3件)：
H01L 21/304 341
, H01L 21/304
, B08B 3/04
H01L 21/304 341 S
, H01L 21/304 341 C
, B08B 3/04 B
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (1件)
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