特許
J-GLOBAL ID：200903096919695474
高周波特性に優れた軟磁性薄膜
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
須賀 総夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-006722
公開番号（公開出願番号）：特開平10-208937
出願日： 1997年01月17日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：
【要約】【課題】 主としてICのインダクターに使用するCo基合金軟磁性薄膜において、高周波特性を向上させて1GHz 付近の帯域において実用可能なものを提供する。【解決手段】 一般式Co<SB>100-x-y-z-w</SB> Fe<SB>w</SB> Pd<SB>x</SB> M<SB>y</SB> O<SB>z</SB> ただしMはSi,ZrおよびAlからえらんだ1種または2種以上の元素であり、各成分元素の含有量が原子%であらわして、0≦w≦40、10≦x≦30、2≦y<5、4≦z≦15である合金組成を有する薄膜。
請求項（抜粋）：
一般式Co<SB>100-x-y-z</SB> Pd<SB>x</SB> M<SB>y</SB> O<SB>z</SB> で示され、ただしMはSi,ZrおよびAlからえらんだ1種または2種以上の元素であって、各成分元素の含有量が原子%であらわして下記の範囲にあり、10≦x≦302≦y< 54≦z≦15一軸磁気異方性を有し、1GHz における困難軸方向の透磁率が、実効成分μ′≧40かつ損失成分μ′′≦40である軟磁性薄膜。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01F 10/16
, C23C 14/08 M
