特許
J-GLOBAL ID：200903096985966209
窒化珪素質焼結体及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小島 清路
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-067323
公開番号（公開出願番号）：特開2002-265273
出願日： 2001年03月09日
公開日（公表日）： 2002年09月18日
要約：
【要約】【課題】 耐食性に優れると共に、熱膨張係数が大きく、絶縁性材料等として好適な高耐熱性を有する窒化珪素質焼結体及びその製造方法を提供する。【解決手段】 本発明の窒化珪素質焼結体は、窒化珪素、4a乃至6a族元素、希土類元素及び炭化珪素を含有し、焼結体中、上記希土類元素の酸化物換算量が5.7〜10.3モル%であり、且つ上記焼結体中の酸素量に対する焼結体中の残酸素量の二酸化珪素換算量のモル比が0.50以上0.70未満であり、希土類元素-珪素元素-酸素元素-窒素元素で構成される結晶相が存在せず、室温から1000°Cまでの熱膨張係数が3.7ppm/°C以上であることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
窒化珪素、4a乃至6a族元素、希土類元素及び炭化珪素を含有し、焼結体中、上記希土類元素の酸化物換算量が5.7〜10.3モル%であり、且つ上記焼結体中の酸素量に対する焼結体中の残酸素量の二酸化珪素換算量のモル比が0.50以上0.70未満であることを特徴とする窒化珪素質焼結体。
IPC (2件)：
FI (2件)：
F02P 19/00 B
, C04B 35/58 102 K
4G001BA08
, 4G001BA12
, 4G001BA22
, 4G001BA32
, 4G001BA48
, 4G001BB04
, 4G001BB08
, 4G001BB12
, 4G001BB22
, 4G001BB32
, 4G001BB48
, 4G001BB71
, 4G001BB73
, 4G001BC13
, 4G001BC42
, 4G001BC54
, 4G001BD01
, 4G001BD14
, 4G001BD23
, 4G001BD37
, 4G001BE01
, 4G001BE02
