特許
J-GLOBAL ID:200903097010431572
ディスク基板成形金型及び樹脂成形金型
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
武 顕次郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-189974
公開番号(公開出願番号):特開2002-079522
出願日: 2001年06月22日
公開日(公表日): 2002年03月19日
要約:
【要約】【課題】 基板表面性が高いディスク基板を製造することができ、かつ耐用寿命の長いディスク基板成形金型を提供する。【解決手段】 金型1,2に形成されたキャビティ4の少なくとも片面にスタンパ9を設置して、キャビティ4のスタンパ設置面2aに、TiN膜10、SiまたはSi化合物の膜11、ダイヤモンド状カーボン膜11を順に形成したことを特徴とする。
請求項(抜粋):
金型に形成されたキャビティの少なくとも片面にスタンパを設置して、キャビティ内で樹脂成形を行うディスク基板成形金型において、前記キャビティのスタンパ設置面に、窒化チタン膜、シリコン又はシリコン化合物の膜、ダイヤモンド状カーボン膜を順に積層して形成したことを特徴とするディスク基板成形金型。
IPC (3件):
B29C 33/38
, B29C 45/37
, B29L 17:00
FI (3件):
B29C 33/38
, B29C 45/37
, B29L 17:00
Fターム (17件):
4F202AA28
, 4F202AF01
, 4F202AG05
, 4F202AG19
, 4F202AH38
, 4F202AH79
, 4F202AJ02
, 4F202AJ09
, 4F202AM14
, 4F202AR12
, 4F202AR20
, 4F202CA11
, 4F202CB01
, 4F202CD14
, 4F202CD22
, 4F202CK11
, 4F202CK43
引用特許:
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